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產(chǎn)品中心三維光學(xué)輪廓儀SensofarS?neoxSensofar三維光學(xué)輪廓儀突破實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用限制
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Sensofar三維光學(xué)輪廓儀突破實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用限制S neox具備優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)性，可在多種復(fù)雜環(huán)境下穩(wěn)定工作。設(shè)備采用工程塑料與金屬支撐結(jié)構(gòu)，兼顧輕量化與抗沖擊性能，抗振動(dòng)性能優(yōu)異。
Sensofar三維光學(xué)輪廓儀突破實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用限制
S neox具備優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)性，可在多種復(fù)雜環(huán)境下穩(wěn)定工作。設(shè)備采用工程塑料與金屬支撐結(jié)構(gòu)，兼顧輕量化與抗沖擊性能，抗振動(dòng)性能優(yōu)異。環(huán)境控制艙可調(diào)節(jié)溫度波動(dòng)±0.3℃、濕度±1%，適配光學(xué)晶體等敏感樣品檢測(cè)。在振動(dòng)幅度超100nm環(huán)境下，設(shè)備仍能穩(wěn)定工作，確保檢測(cè)精度。軟件支持環(huán)境補(bǔ)償功能，可自動(dòng)校準(zhǔn)溫度、濕度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。設(shè)備還配備遠(yuǎn)程升級(jí)與故障診斷功能，通過VPN連接實(shí)現(xiàn)即時(shí)技術(shù)支持，滿足跨地域使用需求。在生產(chǎn)車間環(huán)境中，S neox可適應(yīng)溫度波動(dòng)與振動(dòng)干擾，確保長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作下的檢測(cè)精度與穩(wěn)定性。
型號(hào)與配置
S?neox?3：經(jīng)濟(jì)型，配備 20× 共聚焦物鏡，適用于常規(guī)表面粗糙度檢測(cè)。
S?neox?5：多功能型，標(biāo)配 150× 高 NA 物鏡，支持高分辨率微結(jié)構(gòu)分析。
S?neox?Pro：全套配置，含 500?W 高功率 LED、雙通道信號(hào)融合模塊，滿足工業(yè) 4.0 生產(chǎn)線集成。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體晶圓：薄膜厚度、刻蝕坑形貌、光刻對(duì)準(zhǔn)誤差檢測(cè)。
光學(xué)元件：透鏡表面粗糙度、鍍膜均勻性、AR 薄膜厚度。
MEMS 器件：微：微齒輪、懸臂梁的三維形貌與尺寸公差。
生物醫(yī)學(xué)材料：植入物表面紋理、組織支架孔徑分布。
汽車零部件：發(fā)動(dòng)機(jī)缸蓋、氣門座的表面質(zhì)量評(píng)估。
Sensofar三維光學(xué)輪廓儀突破實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用限制
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