Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Sensofar光學(xué)輪廓儀非接觸式微觀觀測(cè)新工具 Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析
Sensofar?S?neox 將共聚焦顯微、白光干涉和多焦面疊加三大技術(shù)融合在同一平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)從超光滑到粗糙表面的全場(chǎng)景測(cè)量。

產(chǎn)品型號(hào)：S?neox

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪(fǎng)問(wèn)量：107

產(chǎn)品咨詢(xún) 17701039158

產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析

型號(hào)對(duì)比顯示，基礎(chǔ)版縱向分辨率0.1nm，橫向分辨率0.1μm，最大Z掃描范圍10mm；進(jìn)階版支持五軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)與AI路徑規(guī)劃，適用于光學(xué)鏡片面型誤差分析；定制版可拓展至15kg承載重量與特殊環(huán)境控制。各型號(hào)均支持環(huán)境溫度18-28℃、濕度30-65%工作，無(wú)需恒溫恒濕設(shè)備。平移臺(tái)移動(dòng)精度0.1μm，閉環(huán)控制系統(tǒng)確保長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作下垂直精度變化≤0.3nm。

儀器機(jī)身采用航空級(jí)鋁合金框架，內(nèi)部光路使用低膨脹玻璃陶瓷基座，保證溫度波動(dòng) <?0.1?°C 時(shí)測(cè)量誤差不變。光源為寬譜白光 LED + 可選綠光 LED，配合偏振分離模塊實(shí)現(xiàn)透明薄膜雙面測(cè)量。FLCOS 微顯示陣列采用鐵電液晶技術(shù)，壽命 >?20?000?h，功耗低于 30?W。

Sensofar三維光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格全面解析

關(guān)鍵技術(shù)與性能指標(biāo)

項(xiàng)目	參數(shù)	說(shuō)明
橫向分辨率	0.10?µm（共聚焦）	采用 150×、NA?0.95 物鏡
縱向分辨率	0.1?nm（白光干涉）	多步相位移算法
最大測(cè)量斜率	86°	多焦面疊加技術(shù)
Z 軸行程	≥10?mm（閉環(huán)）	全量程無(wú)縫拼接
掃描速度	≤3?mm?/?s	高速數(shù)據(jù)采集
重復(fù)性	≤0.01?nm（RMS）	通過(guò)內(nèi)部校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)