Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度是其在表面形貌測量中受到關(guān)注的重要因素。這種儀器通常能夠提供納米級的縱向分辨率，適用于從粗糙到超光滑表面的多種測量任務(wù)。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的白光干涉模式在系統(tǒng)噪聲方面表現(xiàn)出較低的水平，根據(jù)不同物鏡配置，系統(tǒng)噪聲可低至數(shù)納米。

在縱向測量方面，Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的Z軸性能提供了兩種模式：普通模式和精細(xì)模式。普通模式采用線性導(dǎo)軌，行程為40毫米，精度為5納米；精細(xì)模式配備電容傳感器的壓電陶瓷晶體Z軸，行程為200微米，精度為1.25納米。這種設(shè)計使儀器能夠適應(yīng)不同范圍的縱向測量需求。

橫向分辨率取決于物鏡的數(shù)值孔徑和放大倍率。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀提供多種物鏡選擇，從5X到150X，覆蓋不同的視場范圍和像素分辨率。例如，在100X BF物鏡下，像素分辨率可達(dá)0.07微米，光學(xué)分辨率為0.16微米。這種多物鏡設(shè)計使儀器能夠平衡測量范圍和分辨率的需求。

白光干涉光學(xué)輪廓儀的精度還受到環(huán)境因素的影響，如溫度波動和機(jī)械振動。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀采用了全封閉光路設(shè)計和恒溫控制系統(tǒng)，有助于減少這些因素對測量精度的影響。此外，儀器的掃描頭內(nèi)無運動部件，降低了振動引起的誤差。

在干涉模式下，Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的系統(tǒng)噪聲為PSI / ePSI 0.1納米（使用PZT時可達(dá)0.01納米）或CSI 1納米。這種低噪聲水平有助于提高測量結(jié)果的重復(fù)性和準(zhǔn)確性。儀器還配備了智能噪音檢測功能，能夠識別并消除不可靠的數(shù)據(jù)像素，進(jìn)一步提高數(shù)據(jù)質(zhì)量。

為了確保測量結(jié)果的可追溯性，Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀使用符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的可追溯標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)。這包括縱向精度、橫向尺寸、平面度誤差以及偏心度等參數(shù)的校準(zhǔn)。定期校準(zhǔn)有助于維持儀器的長期測量精度。

在實際應(yīng)用中，白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度也受到樣品表面特性的影響。例如，對于透明材料或多層薄膜，可能需要調(diào)整測量參數(shù)或采用不同的測量模式。Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀的多模式設(shè)計使其能夠適應(yīng)不同特性的樣品，為用戶提供更可靠的測量結(jié)果。

總的來說，白光干涉光學(xué)輪廓儀通過精密的硬件設(shè)計和*的數(shù)據(jù)處理算法，提供了較高的測量精度。其低噪聲、多模式和環(huán)境適應(yīng)性等特點，使其能夠滿足多種應(yīng)用場景對表面形貌測量的精度要求。Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的測量精度