布魯克三維光學輪廓儀白光干涉原理

產(chǎn)品細節(jié)與用材：

ContourX-500的性能基礎在于其采用的白光干涉技術。理解這一技術有助于用戶更好地發(fā)揮儀器的潛力。白光干涉，又稱相干掃描干涉術，利用寬譜白光光源產(chǎn)生的短相干性，通過垂直掃描樣品，精確地定位并記錄每個像素點的最大干涉信號位置，從而重建出整個表面的三維形貌。

產(chǎn)品細節(jié)：
儀器內部集成了一個穩(wěn)定的白光光源，光線通過分光鏡被分成兩路：一路射向參考鏡，另一路射向被測樣品。兩路光反射回來后相遇發(fā)生干涉。干涉信號被高分辨率的CCD相機捕獲。儀器核心的壓電陶瓷掃描器帶動物鏡或參考鏡進行納米級精度的垂直運動，在整個掃描范圍內逐層采集干涉圖像。

產(chǎn)品性能：
這種技術使得ContourX-500能夠適應多種表面反射率，從高反光的金屬表面到低反光的黑硅或高分子材料，通過調整光強和算法，均能獲得有效的測量數(shù)據(jù)。其優(yōu)勢在于大范圍的垂直測量能力與納米級垂直分辨率的結合，使其既能測量較大的臺階和形狀，也能分辨出細微的表面起伏。

使用說明：
在軟件操作中，用戶可以根據(jù)樣品特性選擇不同的干涉模式。對于粗糙表面或有大臺階的樣品，使用垂直掃描干涉模式；對于超光滑表面，則可以使用相移干涉模式以獲得更高的垂直分辨率。正確選擇掃描速度和采樣密度，是平衡測量速度和數(shù)據(jù)質量的關鍵。

參數(shù)表補充：

• 光源： 白光LED光源

• 掃描器： 閉環(huán)控制壓電陶瓷掃描器

• 探測器： 高分辨率CCD相機

• 標準物鏡： 多種倍率可選（如2.5倍，5倍，10倍，20倍，50倍等）

• 軟件分析功能： 包括粗糙度、臺階高、翹曲、體積、功率譜密度等分析模塊。

布魯克三維光學輪廓儀白光干涉原理