產品概述

ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)是基于光學干涉原理的精密測量設備，適用于光學元件、半導體器件等產品的表面形貌檢測需求。該系統(tǒng)采用非接觸式測量方式，可提供納米級精度的表面特征數(shù)據(jù)。

核心技術特點

測量系統(tǒng)性能

• 采用激光共聚焦干涉測量技術

• 垂直分辨率可達亞納米級

• 水平分辨率最高0.5微米

• 測量范圍覆蓋納米至毫米量級

光學系統(tǒng)配置

• 多規(guī)格物鏡可選配

• 自動對焦與樣品導航功能

• 大視野拼接測量能力

• 高穩(wěn)定性機械結構設計

數(shù)據(jù)分析功能

• 三維形貌重構與可視化

• 表面粗糙度等參數(shù)計算

• 多區(qū)域對比分析工具

• 自定義報告生成模塊

典型應用領域

1. 光學鏡片面形精度檢測

2. 半導體晶圓表面質量評估

3. 精密機械零件形位測量

4. 功能性薄膜表面分析

5. MEMS器件三維形貌表征

操作注意事項

• 建議在穩(wěn)定環(huán)境條件下使用

• 測量前需進行系統(tǒng)校準

• 根據(jù)樣品特性選擇測量模式

• 特殊樣品可能需要專用夾具

技術支持服務

ZYGO提供以下專業(yè)支持：

• 系統(tǒng)安裝與操作培訓

• 測量方法開發(fā)指導

• 定期維護校準服務

• 軟件功能升級支持

產品特點

該系統(tǒng)通過精密的干涉測量技術，為表面形貌分析提供了可靠的檢測手段，適用于需要高精度表面測量的研發(fā)與質量控制場景。

（注：具體測量性能可能因配置和使用條件存在差異，建議參考實際測試數(shù)據(jù)。）